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华海清科（北京）科技取得夹持机构以及晶圆清
国度学问产权局消息显示，华海清科（北京）科技无限公司取得一项名为“夹持机构以及晶圆清洗安拆”的专利，授权通知布告号CN223612410U，申请日期为2024年12月。专利摘要显示，本发现公开了一种夹持机构以及晶圆清洗安拆，所述夹持组件包罗驱动部以及夹持部，所述夹持部设置于支持台上，驱动部位于夹持手下方用于驱动夹持部的夹爪摆动；多个所述夹持组件正在支持台的周向上平均分布，采用上述手艺方案，降服了现有手艺中通过机械手送进晶圆过程中晶圆容易被夹爪顶住的缺陷，对机械手横向行程误差的度显著提高，从而可以或许更好地顺应现实操做中的误差，确保了夹持过程的顺畅性，天眼查材料显示，华海清科（北京）科技无限公司，成立于2019年，位于北京市，是一家以处置科技推广和使用办事业为从的企业。企业注册本钱15000万人平易近币。通过天眼查大数据阐发，此外企业还具有行政许可9个。
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